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Edwards爱德华STP-H200C分子泵维修Seiko Seiki STP-200/STP-H200C/STP-H200C1日本精工精机分子泵进气法兰口VG100/ISO100/ICF152，出气法兰口KF25，抽速可达到270L/s，转速为48000rpm，VG/ISO法兰口极限压力10-7Pa(10-9Torr)，ICF法兰口极限压力10-8Pa(10-10Torr)。
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